1. 別名·英文名
Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等的氣絕緣體,制冷劑, 示蹤裝置,醫療,半導體製造中的蝕刻,化學相 澱積、標準氣，檢漏氣體，色譜儀的載氣。
3.製法
在高溫下，硫和氟氣反應制得。
S+3F2→SF6
4.理化特性
物理性質
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壓強(Kpa)
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溫度(℃)
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密度(kg/m3)
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液態
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-50.8
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1880
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氣態
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101.325
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0
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6.52
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相對（空氣）
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101.325
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1.20 (氣態)
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5.114
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化學性質
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壓強（Kpa）
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溫度(℃)
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熔點
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224
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-50.8
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昇華點
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101.325
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-63.7
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最大容許濃度
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毒性
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10 ppm (12mg/m3)
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壓強(Kpa)
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溫度
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比熱容(kj/kg)
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熔化熱
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224
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222.35K
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34.38
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氣化熱
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101.325
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-63.8℃
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161.61
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壓強(Kpa)
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溫度
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比熱(J/kg.k)
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液體
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101.325
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225K
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759.14
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氣體
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25℃
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665.18
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溫度(℃)
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壓強(Kpa)
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蒸汽壓
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-20
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680
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0
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1250
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30
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2680
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粘度
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101.325kPa, 0 ℃): 0.0142mPa.S
(液態, 229.85K): 0.500mPa S
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表面張力
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(-50 ℃): 11.63mN / m
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導熱係數
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(101.325kPa, 0 ℃): 0.01206W / (m K)
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折射率
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0℃，101.325kPa)： 1.000783
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水中的溶解度
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5.4cm 3SF4/kg H2O(SF6 101.325kPa，25℃)。
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介電常數
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1002049 (氣態, 101.325kPa, 25 ℃).
At 21.1 ℃ in S.P. for 2308kPa
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六氟化硫在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒。對熱穩定，化學性質不活潑。在500℃以上赤熱狀態下也不分解，在800℃以下很穩定。在250℃時與金屬鈉反應。沒有腐蝕性，可以用通用材料，不腐蝕玻璃。電絕緣性能和消弧性能好，絕緣性能為空氣的2～3倍，而且氣體壓力越大，絕緣性能越增高。藥物學性質不活潑，沒有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于鹽酸和氨。
5.毒性
六氟化硫在生理學上是不活潑的，在藥理學上認為是惰性氣體。但是當含有SF4等雜質時便變成有毒物質。當吸入高濃度SF6時可出現呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜變藍、全身痙攣等窒息症狀。
6.安全防護
用氣裝置可用肥皂液檢漏。SF6無腐蝕性，可以使用不鏽鋼、銅、鋁等通用材料。發生火災時可用水和砂土滅火。洩漏的氣體，可導入苛性鈉和消石灰的混合溶液中處理，或者把洩漏的氣瓶放入通風櫥內。
